レーザー駆動マイクロマシン用ムーバの3次元ナノ構造形成システムの開発

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レーザー駆動マイクロマシン用ムーバの3次元ナノ構造形成システムの開発

研究代表者 河田聡

（科学研究費補助金(試験研究(B)(1))研究成果報告書, ; 平成7年度）

大阪大学大学院工学研究科, 1996.4

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レーザー クドウ マイクロ マシンヨウ ムーバ ノ 3ジゲン ナノ コウゾウ ケイセイ システム ノ カイハツ

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課題番号: 06555121

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Details

  • NCID
    BB25941225
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    1 冊
  • Size
    30 cm
  • Parent Bibliography ID
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