レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決

著者

• 河合, 晃 カワイ, アキラ

書誌事項

レジスト材料・プロセスの使い方ノウハウとトラブル解決

河合晃著

R&D支援センター, 2018.3

タイトル読み

レジスト ザイリョウ プロセス ノ ツカイカタ ノウハウ ト トラブル カイケツ

注記

参考文献: p183-185

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB26074524
• ISBN:
  • 9784905507253
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 185p
• 大きさ: 26cm