超小型精密自走機械による機械加工と物理蒸着の融合微細加工法の基礎的研究

Author(s)

    • 青山, 尚之 アオヤマ, ヒサユキ

Bibliographic Information

超小型精密自走機械による機械加工と物理蒸着の融合微細加工法の基礎的研究

研究代表者 青山尚之

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成9年度）

[電気通信大学], 1998.2

Title Transcription

チョウコガタ セイミツ ジソウ キカイ ニ ヨル キカイ カコウ ト ブツリ ジョウチャク ノ ユウゴウ ビサイ カコウホウ ノ キソテキ ケンキュウ

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Note

課題番号: 08650131

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Details

  • NCID
    BB26094758
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    engjpn
  • Place of Publication
    [調布]
  • Pages/Volumes
    36p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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