新しい薄膜技術(エクリプス・レーザー堆積法)の樹立と超低損失光回路作製への応用
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新しい薄膜技術(エクリプス・レーザー堆積法)の樹立と超低損失光回路作製への応用
(科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書, ; 平成7年度-平成8年度)
大阪大学基礎工学部, 1997.4
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アタラシイ ハクマク ギジュツ エクリプス レーザー タイセキホウ ノ ジュリツ ト チョウテイソンシツ ヒカリ カイロ サクセイ ヘノ オウヨウ
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注記
課題番号: 07555101