UVアシスト研削による単結晶SiCウェハの高能率鏡面仕上げ

著者

• 山口, 桂司 ヤマグチ, ケイシ

書誌事項

UVアシスト研削による単結晶SiCウェハの高能率鏡面仕上げ

研究代表者 山口桂司

工作機械技術振興財団, 2017.12

タイトル読み

UV アシスト ケンサク ニヨル タンケッショウ SiC ウェハ ノ コウノウリツ キョウ メン シアゲ

注記

工作機械技術振興財団の第37次試験研究助成により行われた研究

試験研究機関: 京都工芸繊維大学

共同研究者: 小辻利幸, 目片萌絵

試験研究期間: 平成28年7月1日〜平成29年6月30日

A-227

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB26233129
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 9p
• 大きさ: 30cm