GaAsの分子線エピタキシーにおける原子状水素の作用と選択成長への応用

書誌事項

GaAsの分子線エピタキシーにおける原子状水素の作用と選択成長への応用

研究代表者 横山新

(科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成2年度)

[横山新], 1991.3

タイトル読み

GaAs ノ ブンシセン エピタキシー ニオケル ゲンシジョウ スイソ ノ サヨウ ト センタク セイチョウ エノ オウヨウ

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注記

研究代表者: 横山新(広島大学集積化システム研究センター助教授)

研究分担者: 川辺光央

課題番号: 01550238

参考文献あり

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB26298361
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [広島]
  • ページ数/冊数
    5, 13p
  • 大きさ
    26cm
  • 親書誌ID
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