GaAsの分子線エピタキシーにおける原子状水素の作用と選択成長への応用

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GaAsの分子線エピタキシーにおける原子状水素の作用と選択成長への応用

研究代表者 横山新

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成2年度）

[横山新], 1991.3

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GaAs ノ ブンシセン エピタキシー ニオケル ゲンシジョウ スイソ ノ サヨウ ト センタク セイチョウ エノ オウヨウ

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Note

研究代表者: 横山新(広島大学集積化システム研究センター助教授)

研究分担者: 川辺光央

課題番号: 01550238

参考文献あり

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Details

  • NCID
    BB26298361
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [広島]
  • Pages/Volumes
    5, 13p
  • Size
    26cm
  • Parent Bibliography ID
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