酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用

Author(s)

• 内田, 和男 ウチダ, カズオ

Bibliographic Information

酸化シリコンナノポーラス薄膜の低誘電率材料への応用

研究代表者 内田和男

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度-平成12年度）

[電気通信大学], 2001.3

Title Transcription

サンカ シリコン ナノ ポーラス ハクマク ノ テイユウデンリツ ザイリョウ エノ オウヨウ

Note

課題番号: 11650317

• NCID: BB26402088
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [調布]
• Pages/Volumes: 61p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30195401