Multiphoton lithography : techniques, materials, and applications

著者

• Stampfl, Jürgen
• Liska, Robert
• Ovsianikov, Aleksandr

書誌事項

Multiphoton lithography : techniques, materials, and applications

edited by Jürgen Stampfl, Robert Liska, and Aleksandr Ovsianikov

Wiley-VCH, c2017

• : hbk.

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB26533778
• ISBN:
  • 9783527337170
• LCCN: 2023496433
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xx, 386 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC23 : 686.2315
  • LCC : QC793.5.P42
• 件名:
  • LCSH : Lithography
  • LCSH : Multiphoton processes
  • LCSH : Microlithography
  • LCSH : Nanophotonics
  • CSHF : Processus à plusieurs photons
  • CSHF : Microlithographie
  • CSHF : Nanophotonique
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