大気圧プラズマを利用したラジカル加工におけるラジカル生成機構の解明

著者

• 森, 勇藏 モリ, ユウゾウ

書誌事項

大気圧プラズマを利用したラジカル加工におけるラジカル生成機構の解明

研究代表者 森勇藏

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, ; 平成7年度～平成8年度）

大阪大学工学部, 1997.4

タイトル読み

タイキアツ プラズマ ヲ リヨウ シタ ラジカル カコウ ニ オケル ラジカル セイセイ キコウ ノ カイメイ

注記

課題番号: 07455063

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB26647154
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 31 cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701