大気圧プラズマを利用したラジカル加工におけるラジカル生成機構の解明

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大気圧プラズマを利用したラジカル加工におけるラジカル生成機構の解明

研究代表者 森勇藏

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, ; 平成7年度～平成8年度）

大阪大学工学部, 1997.4

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タイキアツ プラズマ ヲ リヨウ シタ ラジカル カコウ ニ オケル ラジカル セイセイ キコウ ノ カイメイ

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課題番号: 07455063

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Details

  • NCID
    BB26647154
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    1 冊
  • Size
    31 cm
  • Parent Bibliography ID
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