高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜

著者

• 芳井, 熊安

書誌事項

高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜

研究代表者 芳井熊安

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, ; 平成7年度～平成8年度）

大阪大学工学部, 1997.4

タイトル読み

コウシュウハ スパッタ ジョウチャクホウ ニ ヨル タケッショウ ハンドウタイ オヨビ ダイヤモンド ハクマク ノ テイオン セイマク

注記

課題番号: 07455065

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB26663128
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [吹田]
• ページ数/冊数: 1 冊
• 大きさ: 30 cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701