高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜

Author(s)

    • 芳井, 熊安

Bibliographic Information

高周波スパッタ蒸着法による多結晶半導体およびダイヤモンド薄膜の低温成膜

研究代表者 芳井熊安

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, ; 平成7年度～平成8年度）

大阪大学工学部, 1997.4

Title Transcription

コウシュウハ スパッタ ジョウチャクホウ ニ ヨル タケッショウ ハンドウタイ オヨビ ダイヤモンド ハクマク ノ テイオン セイマク

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課題番号: 07455065

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Details

  • NCID
    BB26663128
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [吹田]
  • Pages/Volumes
    1 冊
  • Size
    30 cm
  • Parent Bibliography ID
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