電子ビーム励起高出力エキシマレーザによる大面積半導体薄膜のアニール

Author(s)

    • 岡本, 孝太郎 オカモト, コウタロウ

Bibliographic Information

電子ビーム励起高出力エキシマレーザによる大面積半導体薄膜のアニール

研究代表者 岡本孝太郎

（科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書, 平成4-6年度）

[電気通信大学], 1995.3

Title Transcription

デンシ ビーム レイキ コウシュツリョク エキシマ レーザ ニヨル ダイメンセキ ハンドウタイ ハクマク ノ アニール

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Note

課題番号: 04650263

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Details

  • NCID
    BB26688038
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [調布]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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