超精密マイクロ溝加工技術を利用した微小部品の直接接合

著者

• 竹内, 芳美 タケウチ, ヨシミ

書誌事項

超精密マイクロ溝加工技術を利用した微小部品の直接接合

研究代表者 竹内芳美

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11年度-平成12年度）

[電気通信大学], 2001.3

タイトル読み

チョウセイミツ マイクロコウ カコウ ギジュツ オ リヨウシタ ビショウ ブヒン ノ チョクセツ セツゴウ

注記

課題番号: 11555042

• NII書誌ID(NCID): BB26726997
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [調布]
• ページ数/冊数: ii, 56p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA30193701