超精密マイクロ溝加工技術を利用した微小部品の直接接合

Author(s)

• 竹内, 芳美 タケウチ, ヨシミ

Bibliographic Information

超精密マイクロ溝加工技術を利用した微小部品の直接接合

研究代表者 竹内芳美

（科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書, 平成11年度-平成12年度）

[電気通信大学], 2001.3

Title Transcription

チョウセイミツ マイクロコウ カコウ ギジュツ オ リヨウシタ ビショウ ブヒン ノ チョクセツ セツゴウ

Note

課題番号: 11555042

Details

• NCID: BB26726997
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [調布]
• Pages/Volumes: ii, 56p
• Size: 30cm
• Parent Bibliography ID:
  • BA30193701