Mechanics of microsystems

著者

• Corigliano, Alberto

書誌事項

Mechanics of microsystems

Alberto Corigliano ... [et al.]

（The wiley microsystem and nanotechnology series）

Wiley, 2018

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB26753912
• ISBN:
  • 9781119053835
• LCCN: 2017033389
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Chichester, West Sussex
• ページ数/冊数: xxiii, 397 p., [8] p. of plates
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • LCC : TK7875
  • DC23 : 621.381
• 件名:
  • LCSH : Microelectromechanical systems
• 親書誌ID:
  • BB00782201