サファイアウエハの搖動研削加工
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サファイアウエハの搖動研削加工
工作機械技術振興財団, 2016.8
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サファイアウエハ ノ ヨウドウ ケンサク カコウ
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注記
工作機械技術振興財団の第36次試験研究助成により行われた研究
試験研究機関: 防衛大学校
試験研究期間: 平成27年7月1日〜平成28年6月30日
A-223
不許複製