Handbook of silicon wafer cleaning technology

著者

• Reinhardt, Karen A.
• Kern, Werner

書誌事項

Handbook of silicon wafer cleaning technology

edited by Karen A. Reinhardt, Werner Kern

William Andrew, Applied Science Publishers, c2018

3rd ed

• : pbk

注記

William Andrew is an imprint of Elsevier

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB27383717
• ISBN:
  • 9780323510844
• 出版国コード: uk
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Oxford
• ページ数/冊数: xviii, 773 p.
• 大きさ: 23 cm
• 分類:
  • DC23 : 621.38152
• 件名:
  • LCSH : Silicon-on-insulator technology