異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
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異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
（CMCテクニカルライブラリー, 686 . 新材料・新素材シリーズ||シンザイリョウ シンソザイ シリーズ）
シーエムシー出版, 2019.4
普及版
- Other Title
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Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
- Title Transcription
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イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS NEMS センサ CMOSLSI ノ ユウゴウ
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Note
2012年刊の普及版
文献: 各章末(第31章, 第32章には無し)
Description and Table of Contents
Table of Contents
- 第１編 総論編
- 第２編 プロセス技術編
- 第３編 回路・デバイス設計技術編
- 第４編 ＮＥＭＳ技術編
- 第５編 センサ技術編
- 第６編 ＲＦ‐ＭＥＭＳ技術編
- 第７編 エネルギーハーベスト技術編
- 第８編 実装技術編
- 第９編 解析・評価技術編
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