能動制御型電気化学機械研磨による難加工材料のスラリーレス高能率加工
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能動制御型電気化学機械研磨による難加工材料のスラリーレス高能率加工
工作機械技術振興財団, 2018.8
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ノウドウ セイギョガタ デンキ カガク キカイ ケンマ ニヨル ナンカコウ ザイリョウ ノ スラリーレス コウノウリツ カコウ
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注記
工作機械技術振興財団の第38次試験研究助成により行われた研究
試験研究機関: 大阪大学 大学院工学研究科 精密科学・応用物理学専攻
共同研究者: 山村和也
試験研究期間: 平成29年7月1日〜平成30年6月30日
A-242
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