Chemical vapour deposition (CVD) : advances, technology and applications

著者

• Choy, Kwang Leong

書誌事項

Chemical vapour deposition (CVD) : advances, technology and applications

edited by Kwang Leong Choy

（Series in materials science and engineering / B. Cantor, M. J. Goringe）

CRC Press, c2019

• : hardback

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB2838808X
• ISBN:
  • 9781466597761
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton
• ページ数/冊数: xvii, 398 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • DC23 : 620.115
• 件名:
  • LCSH : Chemical vapor deposition
  • LCSH : Nanostructured materials
• 親書誌ID:
  • BA54744457