イオンビームを用いた傾斜機能cBN薄膜合成の研究
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イオンビームを用いた傾斜機能cBN薄膜合成の研究
(科学研究費補助金(基盤研究(A)(1))研究成果報告書, ; 平成7年度~平成8年度)
大阪大学接合科学研究所, 1998.1
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イオン ビーム ヲ モチイタ ケイシャ キノウ cBN ハクマク ゴウセイ ノ ケンキュウ
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注記
課題番号: 07555521