光線基準を用いた超高精度直進機構の開発とその形状測定および表面加工への応用
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光線基準を用いた超高精度直進機構の開発とその形状測定および表面加工への応用
(科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, ; 平成6年度~平成8年度)
大阪大学工学部, 1997.3
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コウセン キジュン ヲ モチイタ チョウコウセイド チョクシン キコウ ノ カイハツ ト ソノ ケイジョウ ソクテイ オヨビ ヒョウメン カコウ ヘノ オウヨウ
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注記
課題番号: 06555037