Catalytic chemical vapor deposition : technology and applications of cat-CVD

著者

• Matsumura, Hideki
• 梅本, 宏信 ウメモト, ヒロノブ
• Gleason, Karen K.
• Schropp, Ruud E. I.

書誌事項

Catalytic chemical vapor deposition : technology and applications of cat-CVD

Hideki Matsumura, Hironobu Umemoto, Karen K. Gleason, Ruud E. I. Schropp

Wiley-VCH, c2019

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB28569346
• ISBN:
  • 9783527345236
• LCCN: 2023544237
• 出版国コード: gw
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Weinheim
• ページ数/冊数: xvi, 421 p.
• 大きさ: 25 cm
• 分類:
  • DC23 : 660.04
  • LCC : MLCM 2024/41107 (T)
• 件名:
  • LCSH : Chemical vapor deposition
  • LCSH : Catalysts