銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究

著者

• 新宮原, 正三 シングハラ, ショウソウ

書誌事項

銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究

研究代表者 新宮原正三

（科学研究費補助金基盤研究(A)(2)展開研究研究成果報告書, 平成8年度―10年度）

[新宮原正三], 1999.10

タイトル読み

ドウハクマク ジコ イジ スパッタ ニヨル コウ エレクトロ マイグレーション タイセイ タソウ ハイセン ノ ケンキュウ

注記

研究課題番号: 08555076

研究代表者: 新宮原正三(広島大学工学部助教授)

研究分担者: 高萩隆行, 坂上弘之, 吉川公麿

参考文献リスト: p61

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BB28715765
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpneng
• 出版地: [東広島]
• ページ数/冊数: 154p
• 大きさ: 30cm
• 親書誌ID:
  • BA62447592