銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究

Author(s)

    • 新宮原, 正三 シングハラ, ショウソウ

Bibliographic Information

銅薄膜自己維持スパッタによる高エレクトロマイグレーション耐性多層配線の研究

研究代表者 新宮原正三

（科学研究費補助金基盤研究(A)(2)展開研究研究成果報告書, 平成8年度―10年度）

[新宮原正三], 1999.10

Title Transcription

ドウハクマク ジコ イジ スパッタ ニヨル コウ エレクトロ マイグレーション タイセイ タソウ ハイセン ノ ケンキュウ

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Note

研究課題番号: 08555076

研究代表者: 新宮原正三(広島大学工学部助教授)

研究分担者: 高萩隆行, 坂上弘之, 吉川公麿

参考文献リスト: p61

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Details

  • NCID
    BB28715765
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東広島]
  • Pages/Volumes
    154p
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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