Si中にイオン注入されたAs及びSbの酸化膜界面パイルアップ現象の解明
著者
書誌事項
Si中にイオン注入されたAs及びSbの酸化膜界面パイルアップ現象の解明
（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成9年度～平成10年度）
[芝原健太郎], 2000.2
- タイトル読み
-
Siチュウ ニ イオン チュウニュウ サレタ As および Sb ノ サンカマク カイメン パイル アップ ゲンショウ ノ カイメイ
大学図書館所蔵 件 / 全1件
-
該当する所蔵館はありません
- すべての絞り込み条件を解除する
この図書・雑誌をさがす
注記
課題番号: 09650358
研究代表者: 芝原健太郎(広島大学ナノデバイス・システム研究センター助教授)
研究分担者: 横山新
参考文献あり