シリコン表面ナノホールの生成メカニズム
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シリコン表面ナノホールの生成メカニズム
(科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, ; 平成10年度~平成12年度)
大阪大学大学院理学研究科, 2001.3
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シリコン ヒョウメン ナノ ホール ノ セイセイ メカニズム
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注記
課題番号: 10305006