シリコン表面ナノホールの生成メカニズム

Author(s)

    • 竹田, 精治

Bibliographic Information

シリコン表面ナノホールの生成メカニズム

研究代表者 竹田精治

（科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書, ; 平成10年度～平成12年度）

大阪大学大学院理学研究科, 2001.3

Title Transcription

シリコン ヒョウメン ナノ ホール ノ セイセイ メカニズム

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Note

課題番号: 10305006

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Details

  • NCID
    BB29171210
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    [豊中]
  • Pages/Volumes
    1 冊
  • Size
    30 cm
  • Parent Bibliography ID
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