MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究

著者

書誌事項

MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究

研究代表者 芝原健太郎

(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度~平成12年度)

[芝原健太郎], 2002.3

タイトル別名

MOSトランジスタのソースドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究

タイトル読み

MOS トランジスタ ノ ソース ドレイン キンボウ デノ ドーパント 2ジゲン ヒロガリ ソクテイ ノ ケンキュウ

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注記

課題番号: 11650326

研究代表者: 芝原健太郎(広島大学ナノデバイス・システム研究センター助教授)

研究分担者: 横山新

参考文献あり

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB29489049
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [東広島]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    30cm
  • 親書誌ID
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