MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
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MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
(科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度~平成12年度)
[芝原健太郎], 2002.3
- タイトル別名
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MOSトランジスタのソースドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究
- タイトル読み
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MOS トランジスタ ノ ソース ドレイン キンボウ デノ ドーパント 2ジゲン ヒロガリ ソクテイ ノ ケンキュウ
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注記
課題番号: 11650326
研究代表者: 芝原健太郎(広島大学ナノデバイス・システム研究センター助教授)
研究分担者: 横山新
参考文献あり