MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究

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MOSトランジスタのソース・ドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究

研究代表者 芝原健太郎

（科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書, 平成11年度～平成12年度）

[芝原健太郎], 2002.3

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MOSトランジスタのソースドレイン近傍でのドーパント2次元拡がり測定の研究

Title Transcription

MOS トランジスタ ノ ソース ドレイン キンボウ デノ ドーパント 2ジゲン ヒロガリ ソクテイ ノ ケンキュウ

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Note

課題番号: 11650326

研究代表者: 芝原健太郎(広島大学ナノデバイス・システム研究センター助教授)

研究分担者: 横山新

参考文献あり

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Details

  • NCID
    BB29489049
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpneng
  • Place of Publication
    [東広島]
  • Pages/Volumes
    1冊
  • Size
    30cm
  • Parent Bibliography ID
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