薄膜作製応用ハンドブック

著者

書誌事項

薄膜作製応用ハンドブック

酒井忠司 [ほか] 編集委員, 宮﨑照宣編集協力委員

エヌ・ティー・エス, 2020.2

2020版

タイトル別名

Handbook of thin film fabrication and application

2020版薄膜作製応用ハンドブック

タイトル読み

ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック

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注記

監修: 權田俊一

第2版(2003年刊)につづく第3版にあたる

巻頭: 口絵

各章末: 参考・引用文献

巻末: 索引・付録(評価方法と評価対象一覧)

内容説明・目次

目次

  • 第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特性と特徴；薄膜材料の電気特性　ほか）
  • 第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）
  • 第３編　薄膜・表面・界面の分析・評価（薄膜・表面・界面の分析評価法；薄膜分析・評価対象各論）
  • 第４編　薄膜技術の応用と展望（電子デバイス；光部品　ほか）

「BOOKデータベース」 より

詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BB29670662
  • ISBN
    • 9784860436315
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    38, 6, 16, 1468, 21, 15p
  • 大きさ
    27cm
  • 分類
  • 件名
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