薄膜作製応用ハンドブック
著者
書誌事項
薄膜作製応用ハンドブック
エヌ・ティー・エス, 2020.2
2020版
- タイトル別名
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Handbook of thin film fabrication and application
2020版薄膜作製応用ハンドブック
- タイトル読み
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ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック
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薄膜作製応用ハンドブック
2020.2.
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薄膜作製応用ハンドブック
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注記
監修: 權田俊一
第2版(2003年刊)につづく第3版にあたる
巻頭: 口絵
各章末: 参考・引用文献
巻末: 索引・付録(評価方法と評価対象一覧)
内容説明・目次
目次
- 第1編 薄膜材料の特性と特徴(薄膜の特性と特徴;薄膜材料の電気特性 ほか)
- 第2編 薄膜の作製と加工(基板と表面処理;PVD法 ほか)
- 第3編 薄膜・表面・界面の分析・評価(薄膜・表面・界面の分析評価法;薄膜分析・評価対象各論)
- 第4編 薄膜技術の応用と展望(電子デバイス;光部品 ほか)
「BOOKデータベース」 より