薄膜作製応用ハンドブック

著者

• 権田, 俊一 ゴンダ, シュンイチ
• 酒井, 忠司 サカイ, タダシ
• 田畑, 仁 タバタ, ヒトシ
• 八瀬, 清志 ヤセ, キヨシ
• 宮崎, 照宣 ミヤザキ, テルノブ

書誌事項

薄膜作製応用ハンドブック

酒井忠司 [ほか] 編集委員, 宮﨑照宣編集協力委員

エヌ・ティー・エス, 2020.2

2020版

タイトル別名

Handbook of thin film fabrication and application

2020版薄膜作製応用ハンドブック

タイトル読み

ハクマク サクセイ オウヨウ ハンドブック

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• 薄膜作製応用ハンドブック

  2020.2.

  Maruzen eBook Library

注記

監修: 權田俊一

第2版(2003年刊)につづく第3版にあたる

巻頭: 口絵

各章末: 参考・引用文献

巻末: 索引・付録(評価方法と評価対象一覧)

内容説明・目次

目次

• 第１編　薄膜材料の特性と特徴（薄膜の特性と特徴；薄膜材料の電気特性　ほか）
• 第２編　薄膜の作製と加工（基板と表面処理；ＰＶＤ法　ほか）
• 第３編　薄膜・表面・界面の分析・評価（薄膜・表面・界面の分析評価法；薄膜分析・評価対象各論）
• 第４編　薄膜技術の応用と展望（電子デバイス；光部品　ほか）

「BOOKデータベース」 より

• NII書誌ID(NCID): BB29670662
• ISBN:
  • 9784860436315
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 38, 6, 16, 1468, 21, 15p
• 大きさ: 27cm
• 分類:
  • NDC8 : 549
  • NDC8 : 549.036
  • NDLC : ND2
  • NDLC : ND371
• 件名:
  • NDLSH : 薄膜