単結晶ダイヤモンド製スクライビングホイールによる硬脆単結晶材料ウエハの精密スクライビング・割断の基礎研究
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単結晶ダイヤモンド製スクライビングホイールによる硬脆単結晶材料ウエハの精密スクライビング・割断の基礎研究
工作機械技術振興財団, 2019.9
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タンケッショウ ダイヤモンドセイ スクライビング ホイール ニヨル コウゼイ タンケッショウ ザイリョウ ウエハ ノ セイミツ スクライビング・カツダン ノ キソ ケンキュウ
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注記
工作機械技術振興財団の第39次試験研究助成により行われた研究
試験研究機関: 中部大学工学部機械工学科
試験研究期間: 2018年7月1日〜2019年6月30日
研究協力者: 岡田睦, 福西利夫, 乙部潤二
A-248
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