単結晶ダイヤモンド製スクライビングホイールによる硬脆単結晶材料ウエハの精密スクライビング・割断の基礎研究

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単結晶ダイヤモンド製スクライビングホイールによる硬脆単結晶材料ウエハの精密スクライビング・割断の基礎研究

試験研究代表者 鈴木浩文

工作機械技術振興財団, 2019.9

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タンケッショウ ダイヤモンドセイ スクライビング ホイール ニヨル コウゼイ タンケッショウ ザイリョウ ウエハ ノ セイミツ スクライビング・カツダン ノ キソ ケンキュウ

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Note

工作機械技術振興財団の第39次試験研究助成により行われた研究

試験研究機関: 中部大学工学部機械工学科

試験研究期間: 2018年7月1日〜2019年6月30日

研究協力者: 岡田睦, 福西利夫, 乙部潤二

A-248

不許複製

Details

  • NCID
    BB29778308
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    21p
  • Size
    30cm
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