ノボラックレジスト : 材料とプロセスの最適化

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書誌事項

ノボラックレジスト : 材料とプロセスの最適化

S&T出版, 2020.1

タイトル読み

ノボラック レジスト : ザイリョウ ト プロセス ノ サイテキカ

注記

参考文献: 章末

背表紙下にA137とあり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BC03684476
• ISBN:
  • 9784907002794
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: viii, 197 p
• 大きさ: 30cm
• 分類:
  • NDLC : PA441
  • NDC10 : 578.4
• 件名:
  • NDLSH : 感光性樹脂
  • NDLSH : リソグラフィー