超LSI製造・試験装置ガイドブック

書誌事項

超LSI製造・試験装置ガイドブック

(電子材料別冊)

工業調査会, 1986.11

  • 1987年版

タイトル読み

チョウ LSI セイゾウ シケン ソウチ ガイドブック

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付録(巻末): 半導体製造・試験装置メーカー・商社一覧表

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BC03964009
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    260, 42 p.; 26 cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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