超LSI製造・試験装置ガイドブック

Author(s)

• 工業調査会 コウギョウ チョウサカイ

Bibliographic Information

超LSI製造・試験装置ガイドブック

（電子材料別冊）

工業調査会, 1986.11

• 1987年版

Title Transcription

チョウ LSI セイゾウ シケン ソウチ ガイドブック

Note

付録(巻末): 半導体製造・試験装置メーカー・商社一覧表

• NCID: BC03964009
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 東京
• Pages/Volumes: 260, 42 p.; 26 cm
• Classification:
  • NDC7 : 549.8
  • NDLC : ND386
• Subject Headings:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 電子工学
• Parent Bibliography ID:
  • BN04046632