超LSI製造・試験装置ガイドブック

著者

• 工業調査会 コウギョウ チョウサカイ

書誌事項

超LSI製造・試験装置ガイドブック

（電子材料別冊）

工業調査会, 1986.11

• 1987年版

タイトル読み

チョウ LSI セイゾウ シケン ソウチ ガイドブック

注記

付録(巻末): 半導体製造・試験装置メーカー・商社一覧表

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BC03964009
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 260, 42 p.; 26 cm
• 分類:
  • NDC7 : 549.8
  • NDLC : ND386
• 件名:
  • NDLSH : 集積回路
  • NDLSH : 電子工学
• 親書誌ID:
  • BN04046632