クリーンルームにおける静電気対策
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クリーンルームにおける静電気対策
日刊工業新聞社, 2021.4
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クリーン ルーム ニ オケル セイデンキ タイサク
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参考文献あり
内容説明・目次
内容説明
事故や歩留まり低下をこれで防ぐ！
目次
- 第１章 静電気の基礎
- 第２章 半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気障害
- 第３章 半導体・液晶製造、医薬品製造等のクリーンルームにおける静電気対策の方法
- 第４章 クリーンルームにおけるイオナイザーによる静電気対策の問題点
- 第５章 コロナ放電式イオナイザーの電極からの発塵の問題
- 第６章 開発されたクリーンルーム用イオナイザー
- 第７章 静電気対策の事例
「BOOKデータベース」 より