High-k materials in multi-gate FET devices

著者

• Tayal, Shubham
• Singla, Parveen
• Davim, J. Paulo

書誌事項

High-k materials in multi-gate FET devices

edited by Shubham Tayal, Parveen Singla, and J. Paulo Davim

（Science, technology, and management series / series editor, J. Paulo Davim）

CRC Press, 2021

1st. ed

• : hbk

注記

Includes bibliographical references and index

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BC08858596
• ISBN:
  • 9780367639686
• LCCN: 2021029732
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Boca Raton
• ページ数/冊数: xv, 164 p.
• 大きさ: 24 cm
• 分類:
  • DC23 : 621.381528
  • LCC : QD551
  • DC23 : 537/.24
• 件名:
  • LCSH : Field-effect transistors
  • LCSH : Dielectrics
  • LCSH : Electrochemistry
• 親書誌ID:
  • BB2813368X