グローバルスタンダードへの挑戦 : 300mm半導体工場へ向けた標準化の歴史

著者

• 小宮, 啓義 コミヤ, ヒロヨシ
• 本間, 三智夫 ホンマ, ミチオ
• 林, 義宣 ハヤシ, ヨシノブ
• 川島, 憲一 カワシマ, ケンイチ
• 大竹, 茂行 オオタケ, シゲユキ
• 奥田, 健一郎 オクダ, ケンイチロウ

書誌事項

グローバルスタンダードへの挑戦 : 300mm半導体工場へ向けた標準化の歴史

小宮啓義 [ほか] 編

SEMIジャパン, 2003.5

タイトル読み

グローバル スタンダード エノ チョウセン : 300mm ハンドウタイ コウジョウ エ ムケタ ヒョウジュンカ ノ レキシ

注記

その他編者: 本間三智夫, 林義宣, 川島憲一, 大竹茂行, 奥田健一郎

監修: 小宮啓義

文献あり

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BC11017728
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: 東京
• ページ数/冊数: 226p
• 大きさ: 21 cm
• 分類:
  • NDLC : ND371
  • NDC10 : 549.8
• 件名:
  • NDLSH : 半導体