半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

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Bibliographic Information

半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

宇佐美晶, 徳田豊 [著]

（Basic selection）

リアライズ理工センター, c2006

Other Title

半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として

Title Transcription

ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ

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Note

1990年9月刊の複製

背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)

参考文献あり

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Details

  • NCID
    BC14399507
  • ISBN
    • 9784898080528
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    jpn
  • Text Language Code
    jpn
  • Place of Publication
    東京
  • Pages/Volumes
    628p
  • Size
    30cm
  • Classification
  • Subject Headings
  • Parent Bibliography ID
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