半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

書誌事項

半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイム、DLTS評価を中心として

宇佐美晶, 徳田豊 [著]

(Basic selection)

リアライズ理工センター, c2006

タイトル別名

半導体デバイス工程評価技術 : ライフタイムDLTS評価を中心として

タイトル読み

ハンドウタイ デバイス コウテイ ヒョウカ ギジュツ : ライフタイム DLTS ヒョウカ オ チュウシン トシテ

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注記

1990年9月刊の複製

背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)

参考文献あり

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BC14399507
  • ISBN
    • 9784898080528
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpn
  • 出版地
    東京
  • ページ数/冊数
    628p
  • 大きさ
    30cm
  • 分類
  • 件名
  • 親書誌ID
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