次世代の要求に応える環境にやさしいコリン洗浄技術 : Eco-friendly choline-based cleaning technology as for forecast semiconductor process

著者

• 加藤, 千晴
• 村岡, 久志
• 浅野, 雅文
• 太田, 好郎
• 富田, 寛

書誌事項

次世代の要求に応える環境にやさしいコリン洗浄技術 : Eco-friendly choline-based cleaning technology as for forecast semiconductor process

加藤千晴編

杜陵印刷, 2022.1

タイトル別名

環境にやさしいコリン洗浄技術

タイトル読み

ジセダイ ノ ヨウキュウ ニ コタエル カンキョウ ニ ヤサシイ コリン センジョウ ギジュツ

注記

監修: 村岡久志

詳細情報

• NII書誌ID(NCID): BC16006762
• 出版国コード: ja
• タイトル言語コード: jpn
• 本文言語コード: jpn
• 出版地: [出版地不明]
• ページ数/冊数: 128p
• 大きさ: 21cm