次世代の要求に応える環境にやさしいコリン洗浄技術 : Eco-friendly choline-based cleaning technology as for forecast semiconductor process

Author(s)

• 加藤, 千晴
• 村岡, 久志
• 浅野, 雅文
• 太田, 好郎
• 富田, 寛

Bibliographic Information

次世代の要求に応える環境にやさしいコリン洗浄技術 : Eco-friendly choline-based cleaning technology as for forecast semiconductor process

加藤千晴編

杜陵印刷, 2022.1

Other Title

環境にやさしいコリン洗浄技術

Title Transcription

ジセダイ ノ ヨウキュウ ニ コタエル カンキョウ ニ ヤサシイ コリン センジョウ ギジュツ

Note

監修: 村岡久志

• NCID: BC16006762
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: [出版地不明]
• Pages/Volumes: 128p
• Size: 21cm