電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究

Author(s)

• 浅野, 種正 アサノ, タネマサ
• 比嘉, 勝也 ヒガ, カツヤ
• 青木, 誠志 アオキ, サトシ
• 牧平, 憲治 マキヒラ, ケンジ

Bibliographic Information

電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究

研究代表者 浅野種正

（科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成6年度）

[九州工業大学マイクロ総合技術センター], 1995.3

Other Title

平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書

Title Transcription

デンシハ カンショウガタ シンクウ マイクロ エレクトロニクス ソシ ノ シサク ケンキュウ

Note

課題番号: 05555010

研究分担者: 比嘉勝也, 青木誠志, 牧平憲治

文献: 各論末

Details

• NCID: BC18839350
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpneng
• Place of Publication: [飯塚]
• Pages/Volumes: 1冊
• Size: 26cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN07858102