電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究

著者

書誌事項

電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究

研究代表者 浅野種正

(科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成6年度)

[九州工業大学マイクロ総合技術センター], 1995.3

タイトル別名

平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書

タイトル読み

デンシハ カンショウガタ シンクウ マイクロ エレクトロニクス ソシ ノ シサク ケンキュウ

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注記

課題番号: 05555010

研究分担者: 比嘉勝也, 青木誠志, 牧平憲治

文献: 各論末

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詳細情報

  • NII書誌ID(NCID)
    BC18839350
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    jpn
  • 本文言語コード
    jpneng
  • 出版地
    [飯塚]
  • ページ数/冊数
    1冊
  • 大きさ
    26cm
  • 親書誌ID
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