電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究
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書誌事項
電子波干渉型真空マイクロエレクトロニクス素子の試作研究
(科学研究費補助金(試験研究B)研究成果報告書, 平成6年度)
[九州工業大学マイクロ総合技術センター], 1995.3
- タイトル別名
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平成6年度科学研究費補助金(試験研究(B))研究成果報告書
- タイトル読み
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デンシハ カンショウガタ シンクウ マイクロ エレクトロニクス ソシ ノ シサク ケンキュウ
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注記
課題番号: 05555010
研究分担者: 比嘉勝也, 青木誠志, 牧平憲治
文献: 各論末