Optical lithography : here is why

著者

• Lin, Burn Jeng

書誌事項

Optical lithography : here is why

Burn J. Lin

SPIE Press, c2021

2nd ed

注記

Includes bibliographical references and index

• NII書誌ID(NCID): BD01149424
• ISBN:
  • 9781510639959
• LCCN: 2020049078
• 出版国コード: us
• タイトル言語コード: eng
• 本文言語コード: eng
• 出版地: Bellingham, Washington U.S.
• ページ数/冊数: xvii, 560 p.
• 大きさ: 26 cm
• 分類:
  • DC23 : 621.381531
  • LCC : TK7872.M3
  • DC22 : 621.3815/31
• 件名:
  • LCSH : Microlithography
  • LCSH : Semiconductors -- Etching
  • LCSH : Lasers -- Industrial applications