プラズマエッチング反応過程の解明

Author(s)

• 西澤, 潤一 ニシザワ, ジュンイチ

Bibliographic Information

プラズマエッチング反応過程の解明

西沢潤一研究代表者

（科学研究費補助金(一般研究A)研究成果報告書, 昭和57年度）

西沢潤一, 1983.3

• 課題番号 : 542034

Title Transcription

プラズマ エッチング ハンノウ カテイ ノ カイメイ

Details

• NCID: BD02708372
• Country Code: ja
• Title Language Code: jpn
• Text Language Code: jpn
• Place of Publication: 仙台
• Pages/Volumes: 42p
• Size: 26cm
• Parent Bibliography ID:
  • BN04213993