AIN膜を用いた零温度係数をもつ通信用弾性表面波/半導体ハイブリッドICの開発
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書誌事項
AIN膜を用いた零温度係数をもつ通信用弾性表面波/半導体ハイブリッドICの開発
（科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書, 昭和60年度）
[御子柴宣夫], 1986.3
- タイトル別名
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昭和60年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書
- タイトル読み
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AIN マク オ モチイタ レイ オンド ケイスウ オ モツ ツウシンヨウ ダンセイ ヒョウメンハ / ハンドウタイ ハイブリッド IC ノ カイハツ
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注記
研究課題番号: 58850055
研究分担者:坪内和夫, 益一哉